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マルチガス、マルチレンジMFC

光通信システム・シミュレーション・ソフトウエア

掲載日:2010/09/15

MKSのP4Bは0.5秒の高速応答、セットポイント1%の高精度マルチガス、マルチレンジMFC。 装置組込、標準イーサネットインタフェース、標準ウエブブラウザとPCのみで簡単に使用でき、一般に必要とされる大部分のガスパラメータが内蔵されているため、初期設定はガス選択、レンジ特定のみ。 イーサネットを通しての装置作動中はモニタリング診断が可能。

日本エム・ケー・エス(株) 営業部
Tel: 03-3398-8193
www.mksinst.com

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