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Altatech、LEDインスペクション市場に参入
December 13, 2011, Montbonnot--アルタテク(Altatech Semiconductor S.A.)は、新たにAltaSgiht LEDMaxシステムを発売し、LEDインスペクション市場に参入した。
AltaSgiht LEDMaxは、LED製造に使用するウェハの欠陥検出、分類、評価用に特別設計された同社初の製品。LEDMaxは、プロセスに起因する欠陥を正確に検出することでLEDデバイスの製造歩留まり向上に貢献する。欠陥としては、エピタキシャル層のMOCVDプロセス中、それに続くパタニングプロセスおよび最終検査での欠陥を含む。全てのバックグラウンドノイズを除去する同社特許のセンサ技術を用いることで、この非接触システムは、分解能1μm、フォーカス深度500μmで表面欠陥の画像を生成する。
組み込まれた欠陥修正装置が収集した検査データの解析をリアルタイムで行う。異なる視角からの画像を統合して3D像を作成し、欠陥のサイズを計測する。すべての欠陥検出結果はシステム内に蓄積され、標準ファイルフォーマットでオペレータに出力される。
アルタテクの社長、Jean-Luc Delcarri氏は、「従来の半導体欠陥検出ツールが、信頼性と経済性を満足していないので、当社がこの市場に参入する」とコメントしている。
AltaSgiht LEDMaxの極めて柔軟性の高い設計により、3つの検査モジュールを組み合わすことができ、量産、プロセス開発、R&Dアプリケーションに使用できるようになっている。
AltaSgiht LEDMaxは、今日LED製造に使用されている化合物半導体ウェハをフルレンジでカバーし、他のIII-V検査要求にも対応する多様性を持っている。サファイア、シリコンカーバイド、その他のトランスペアレント基板に対応可能。システム設計は柔軟で高信頼であるので、ウェハが薄くても厚くても、反っていても対応することができる。また、ハードウエアの変更なしに4～8インチウェハを扱うことができる。2インチ基板用のフィールドアップグレード可能のオプションは数ヶ月後にリリース予定。
