関連イベント
- LEDジャパン/Strategies in Light
- Strategies in Light
- Strategies in Light Europe
- Strategies in Light China
関連雑誌
LED Japan 出展製品特集 詳細
最新リモートプラズマソース
掲載日：2012/09/21
アストロン パラゴン反応性ガス発生器は、リモートプラズマ源の業界をリードするMKSの最新プラットフォーム。これまでの生産実績を基に、次世代のプロセス開発を可能にする改良や拡張を考え設計されている。特許取得の低電界トロイダルプラズマ技術に加え、新たにプラズマブロック長寿命を提供するPEOコーティングの採用により、高いガス解離特性を維持しながら10Torrで6 SLMのNF3の流量を可能にして高いスループットを実現する。主用途はCVD プロセス・チャンバ内壁の堆積物除去など。
日本エム・ケー・エス（株） 営業部
TEL:03-3398-8193
【LEDジャパン 2012/Strategies in Light 出展】
ブース番号：L-200
