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LED Japan 出展製品特集 詳細
マルチガス、マルチレンジMFC
掲載日：2011/09/15
MKS のP4B は0.5秒の高速応答、セットポイント1％の高精度マルチガス、マルチレンジMFC。
装置組込、標準イーサネットインターフェース、標準ウェブブラウザとPC のみで簡単に使用でき、一般に必要とされる大部分のガスパラメータが内蔵されているため、初期設定はガス選択、レンジ特定のみ。イーサネットを通しての装置作動中はモニタリング診断が可能。
日本エム・ケー・エス株式会社 営業部
TEL:03-3398-8193
【LEDジャパン 2011/Strategies in Light 出展】
ブース：M-59
