ナノメトリクス、Imperia PLイメージングシステム

December, 4, 2014, Milpitas--ナノメトリクス(Nanometrics Incorporated)は、最先端の化合物半導体製造向けに、最新のフォトルミネサンス(PL)システム、Imperiaを発表した。
　Imperiaは、完全自動非接触光学システムで、高輝度発光ダイオード(HB-LED)製造アプリケーション向けの包括的計測、検査を行う。このシステムは、PL計測と欠陥検査を素早く同時に行うことができる。最先端のソフトウエアにより、Imperiaは、基板、エピタキシャルジャンクション形成、インターコネクトプロセスにおける重要な段階で、重大な欠陥分析、等級分け、歩留まり予測を提供する。
　「HB-LED技術は進化を続けている。高輝度化の進行、エネルギー効率改善、一段と厳しいエンド市場での採用により、メーカーは最も有利なスループットと歩留まりを確実にするために、情報の回転をますます速くするように要求している。Imperiaシステムは、ウエファが高価なラインプロセスのバックエンドに至るずっと前にLEDのパフォーマンスを迅速に判断することができるので、HB-LEDメーカーはプロセス調整のための修正措置を行ったり、早めにプロセスエクスカーション(逸脱)を含めることが容易になる。結果として製造コストを下げ、サイクルタイムを短縮できる」とナノメトリクス材料評価グループ担当VP、David Doyle氏はコメントしている。
　Imperiaシステムは、SEMICON Japan 2014(12月3-5)で紹介されている(booth 4168)。