AIX R6、LED製造で新たな基準設定

November, 18, 2014, Arlington--AIXTRONは、次世代MOCVDシステムを中国で行われたSSL国際展示会で紹介した。
　AIX R6はGaNベースLED製造用に設計されており、12×6-、31×4-、121×2-インチウエハ構成が可能。AIXTRONによると、多くの技術革新を実装した新しい装置は、使い勝手と工程制御を簡素化しながら、運用コストを大幅に下げることができる。
　「当社のAIX R6は、今日LEDメーカーが直面しているほとんどの重要な課題に対処する。厳しい競争市場では、デバイス価格が一貫して下がっているので、製造装置の所有コスト低減が不可欠になっている。AIX R6は、当社顧客の高効率製造要求を満たしており、顧客は製造コストを最適化することが可能になっている」とAIXTRON社長/CEO、Martin Goetzeler氏はコメントしている。同氏によると、すでにSan’anから同装置の受注を獲得している。
　AIX R6は、AIXTRONのClose Coupled Showerhead(CCS)コンセプトをベースにしている。この技術は、優れた化学的効率と本質的な堆積均一性で知られている。現行世代のシステムと比べて、30％超の所有コスト改善、120％超のスループット向上によりAIX R6は、LED量産で新たな基準を設定した、とAIXTRONは主張している。
　同社CTO、Andreas Toennis氏は、「AIX R6は、顧客の製造ニーズに特に注力して開発した。製造能力を高め、自動化を促進し、信頼性向上とアップタイム拡大により、特にスループット最大化に注力した。温度モニタリングや制御システムの強化により、工程制御が改善されている点は、AIX R6の重要な特徴である。新しいプロセス制御システムによって温度変動がなくなったことで、再現性と歩留まりが向上している。またサイクルタイムの短縮と高速キャリブレーションも可能になっている」と説明している。