Veeco、EPIK700 MOCVDシステムを発表

September, 12, 2014, Plainview--ビーコ(Veeco Instruments Inc)は、新しいTurboDisc EPIK700ガリウムナイトライド(GaN) MOCVDシステムを発表した。同社によると、この装置は業界最高の生産性、最高クラスの歩留まりと低コスト動作を統合したもので、一般照明用途のLEDs製造コストを一段と下げることができる。
　Veecoの実績あるTurboDisc技術をベースにしたEPIK700 MOCVDシステムにより顧客は、前世代と比較してウエファあたりのコストを最大20％抑制することができる。これは、ウエファ均一性の向上、運用費の抑制、生産性の向上によるものである。EPIK700システムは、現行世代のリアクタの能力の2倍以上の能力がある。この量産性と生産性の向上とにより、前世代のMOCVDシステムに対してスループットの優位性は2.5倍となっている。
　Veecoの説明によると、EPIK700 MOCVDシステムはLED業界最高の生産性であり、リアクタの構成は1また2で提供される。