Veeco、Osramマレーシアの新LED製造工場にシステム導入契約

December, 21, 2016, Plainview--ビーコ(Veeco Instruments Inc)は、オスラム(OSRAM Opto Semiconductors GmbH )のKulimでLED量産に必要となるMOCVDとPSP(精密表面加工)システムのサプライヤとしてVeeco指名契約が完了したと発表した。契約の一環としてOSRAMは、複数のTurboDisc EPIK700 Gallium Nitride (GaN) MOCVD, およびWaferStorm 3306 PSP Wet Processシステムを発注した。
　生産で実証済みのビーコのTurboDiscとUniform FlowFlange MOCVDを利用することで、LEDメーカーは、従来のMOCVDシステムと比較したウエファ均一性向上、OPEX削減、生産性向上によりウエファあたりのコスト改善が達成可能になる。WaferStorm PSP Wet Process Systemは、溶剤系プラットフォームであり、ビーコ独自のImmJET技術を組み込んでいる。これにより、金属リフトオフおよび他のバックエンド化合物半導体工程で、従来の方法と比べて、歩留まり向上、スループット向上、薬品費低減が可能になる。
(詳細は、www.veeco.com)