ギガフォトン、EUV光源で出力140W、デューティーサイクル50%連続運転

February, 27, 2015, 小山--ギガフォトンは、現在開発中のEUVスキャナ用レーザ生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機において、半導体量産対応レベルの出力140W、デューティーサイクル50%で連続運転を達成した。
　この成果は、これまでギガフォトンが開発を続けてきた、20µm以下の微小ドロップレットの供給技術、固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術を、より進化させたことによって達成された。ギガフォトンが達成した140W、デューティーサイクル50%連続運転というこの数値は、量産対応EUVスキャナーの実現が最終段階にさしかかったことを意味している。今後ギガフォトンでは、プロトタイプLPP光源で2015年末までに、メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの達成を目指してさらなる研究開発に取り組んでいく。 ギガフォトン代表取締役社長/CEO都丸仁氏は、「出力140W、デューティーサイクル50%での連続運転に成功したことは、半導体量産工場が待望する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なLPP光源の完成が間近であること示している。ギガフォトンの高度な技術力と量産に向けた開発努力が、量産用EUVリソグラフィスキャナの開発を加速させ、次世代露光技術としてのEUVスキャナの導入時期を一層早めると確信してる」とコメントしている。