レーザ微細加工向けにリソースをプール

March, 29, 2022, Westborough--SCANLABとPulsar Photonicsは､2022年､より高度な統合レーザスキャンシステムの開発と販売で提携することに合意している｡

SCANLAB GmbHおよびPulsar Photonics GmbHは､2022年､より高度な統合レーザスキャンシステムの開発と販売で協力している｡高スループットレートでレーザ微小穴開け向け‘Photonic Drill Engine’の開発での提携だけでなく､SCANLABは､今後､広範なビーム成形システムや他の特注ソリューションを供給することができる｡そうすることで同社は､微細材料加工向けの製品範囲を広げ､生産性と加工品質改善に役立つ新しいソリューションをユーザに提供する｡

両社は､すでに2019年以来､微細加工向けスキャンソリューションの設計と開発で提携してきている｡この新しいプロジェクトは､SCANLABが､高度に統合されたレーザスキャンシステムの販売に共同責任を負うことも意味している｡これにより､同社は2022年2月から独自の顧客ベースに追加の統合ソリューションを供給できるようになる｡USPアプリケーション(超短パルスレーザ)市場は､成長が続いている｡一般に､最も重要な課題､所望のスループット増に関わる｡マルチビームシステムを使うレーザ加工の並列化は､まさにこの課題の克服に役立つ｡

ビーム成形のための統合スキャン来システム
Microscan Extension (MSE)は､‘1 µm レーザブレード’としても定義できる｡このスキャンレンズは､スキャンヘッドをマイクロスポットスキャンシステムに簡単に変更できる｡ガルバノメータスキャナとMSEの統合で､非常に正確なコンポーネント加工が可能になる｡焦点径は､4µm以下､UV波長域では1.5µm以下も可能である｡

MultiBeamScanner (MBS) は､レーザ切断､穴開け､除去工程を同時実行できるスキャンソリューション｡回折光学素子(DOE)の利用で､入力レーザビームを多数の部分ビーム構成に分割し､単一の画像フィールドでマルチレーザスポットによる同時作業が可能になる｡即ち､多数のコンポーネントが同時に加工される､つまり構造加工がより迅速になる｡この技術とXL SCANソリューションを組み合わせることで､パラレルレーザ加工の精度とスピードが改善される｡

最も複雑なシステムは､FlexibleBeamShaper (FBS)である｡FBSは､ビーム成形システムであり､装置への組み込みが可能であり､必要に応じてユーザ定義のビーム分布を生成できる｡電気制御の光位相変調器により､FBSは､いわゆる‘photonic toolbox’(フォトニックツール)であり､幅広い､予め定義されたビーム形状を含む｡同システムは､組み込みガルバノスキャンヘッドを備えており､柔軟で効率的な微細加工では､プロセスディベロッパーに新たな可能性を開く｡

Beam Alignment Module (BAM)ビーム位置の｡動的安定かに使用される｡アライメントエラー､レーザ光源を原因とする熱効果､環境温度における振動､ビーム位置に対する全ての:結果として生じる効果が計測され､補正される｡結果的に､BAMは､環境条件が変わっても､プロセス結果の一貫性を保証する｡
(詳細は､https://www.scanlab.de)