ガラス越しのレーザ照射でナノ加工を実現

April, 9, 2024, 仙台--東北大学 多元物質科学研究所の津留志音 大学院生（同 大学院工学研究科）、小澤祐市 准教授、上杉祐貴 助教、佐藤俊一 教授のグループは、ベクトルビームと呼ばれる特殊なレーザ光をガラスの裏面に集光する条件において、ガラス界面での全反射の効果を使うことで界面近傍に極めて微小かつ高強度の集光点を形成できることを明らかにした。
このような条件でレーザ加工を行うと、使用した近赤外光の波長1040nmの1/16程度に相当する直径67nmの非常に小さな加工穴が得られることを実証した。
この結果は、集光したレーザ光を用いた材料の直接加工でのさらなる微細化・高精度化へ向けた新たな技術基盤となることが期待される。

研究成果は、2024年3月1日（米国時間）付で光科学分野の専門誌Optics Lettersに掲載された。

（詳細は、https://www.tohoku.ac.jp）