SOLAYER､精密オプティクス市場に光コーティングイノベーション

April, 14, 2020, Dresden--SOLAYERは、同社の高精密コーティング装置の標準モデルを量産すると発表した。
　同社は、特殊ガラスやフォトニクス製品向けのプラズマベース表面処理ソリューションの先駆者であり、フォトニクス製品は、3Dセンサ、通信、LiDARおよび他のアプリケーション向けに利用されている。SOLAYERの装置は、フラッグシップAVIOR M-300スパッタリングシステムのように、広範囲の超薄膜を高精度に堆積できる｡それらは､量産製造で､高信頼の優れた膜均一性を低所有コストで提供する｡いずれ､同社は半導体顧客にも供給することになる｡　

2016年､同社は､フォトニクス市場向けの製品開発をスタートさせた｡最初は､特殊製品ロット向けにカスタマイズされた装置の供給､今では量産向けに標準システムを供給している｡2019年､SOLAYERは､中国の戦略投資家から融資を受けた｡

スパッタ膜､フォトニックアプリケーションのイノベーションを促進
　フォトニクス製品が一段と高度になるにつれて製造要件も厳しくなっている｡特に､光学膜に対するコーティング仕様は複雑で、品質期待は高い｡最先端のスパッタリングが理想的な技術として登場してきた｡高密度､高い安定性､高均一性､最小の光損失の膜を生成できる技術である｡シフトフリー構造により､応力条件下で予測可能な機械的強度を生み出す｡これは品質強化となる｡

スケーラブル光学コーティングソリューション
　SOLAYERの完全自動光学コーティング装置は､製造指示に対処できるように構築されている｡モジュラー､スケーラブルプラットフォームを特徴としており､最大限の柔軟性とアップタイムとともにランプアップが容易になるように設計されている｡同社主力製品AVIOR M-300システムは､300㎜までの基板で量産製造に対処できるようになっている｡そのスパッタアップ､基板フェースダウン構成は､実質的に粒子を除去し､長期にわたる安定性を備えた再現性の高いコーティングプロセスを供給する｡目標とする材料利用率は約85%(シリコン､ニオブ､タンタルおよびアモルファス二酸化シリコンなど)､またスループットは､競合装置よりも50%程度優れている(24’ x 200 mm 基板)｡

SOLAYERのCEO、Mathias Hoeflerは､｢当社の装置は豊富なR&Dの成果であり､Silicon Saxony核心にあるドイツの設計的考案により構築された｡性能､スループット､歩留まりの利点を超えて､非常に複雑なコーティング要件で最先端の精密光学製品を製造する顧客に優れたコストメリットを提供するものである｣とコメントしている｡

SOLAYERの装置はさらに､特に光学産業で利用するために開発､品質評価されたコンポーネントにより差別化されている｡顧客にとっては､極めて高信頼でコスト効果の優れたコーティングプロセスを可能にする特注部品を持つ特殊装置である｡

AVIOR M-300システムに加えて､SOLAYERの光学コーティングソリューションは､モジュラークラスとコーティングツールALASCO､多用途インラインコーティングシステムALIOTHが含まれており､顧客の多様なニーズに対処する完全なポートフォリオを提供している｡
(詳細は､http://www.globenewswire.com)