最先端IC技術対応総合的ウエハ欠陥検査/レビューポートフォリオ発表

July, 13, 2016, San Francisco--KLA-Tencor Corporationは、最先端IC素子製造に対応する、6種の高度なウエハ欠陥検査/レビューシステムを発表した。
　発表したシステムは、3900シリーズ（旧名称Gen 5）、2930 シリーズ ブロードバンド プラズマ 光学検査装置、Puma 9980 レーザ スキャンニング検査装置、CIRCL5 全表面検査クラスタ式装置、Surfscan SP5XP パターン無しウエハ検査装置、eDR7280 電子ビームレビュー/分類装置の6種。これらの装置は、幅広い革新的テクノロジーを採用し総合的なウエハ検査ソリューションを提供する。これにより、ICの全製造工程（早期のプロセスキャラクタリゼーションから製造でのプロセスモニタリングまで）において、歩留まりに決定的な影響を与える欠陥を検出し制御することができる。

欠陥検出
3900シリーズ、2930シリーズ、eDR7280は、検査、設計、レビュー情報を統合させて欠陥検出ソリューションを作り上げる。これは、重大な欠陥の検出とキャラクタリゼーションにより、プロセスと歩留まり改善を推進するものである。このソリューションは、IC製造メーカーが、プロセスウィンドウの検出、パターンの急速な増加やプロセスのシステマチックな欠陥に伴う歩留まり低下など、高度な設計ノード問題に対処するうえで貢献する。

この革新的な3900シリーズ ブロードバンド プラズマ 光学検査装置では、新たに超高分解能遠紫外線（SR-DUV）の波長領域とスキャナ相当のステージ精度が採用され、10nm以下の確実な欠陥検出のための優れた光分解能を実現する。2930シリーズ ブロードバンド プラズマ 光学検査装置は、DUV/UVの波長領域を用いることで3900シリーズを補っており、全プロセスレイヤーにわたり、歩留まりを低下させる欠陥検出に必要な最適なコントラストを提供する。この2種類のブロードバンド プラズマ 光学検査装置シリーズは、どちらも完全なウエハ検査を約1時間以内で完了する。それにより、ウエハレベルおよびロットレベルの欠陥データを収集し、複雑なプロセス上の問題を完全に理解し、迅速に解決できるようになる。

設計情報は、3900シリーズおよび2930シリーズの両装置にあるpin•point、super•cellを通して有効利用される。pin•point、super•cellは特許取得済みの技術であり、設計の弱点に関する欠陥など、歩留まりを下げる欠陥に対する感度を改善するとともに、ダミーパターンのように重大ではない解析を阻害する欠陥を低減させる。改良された画質・自動欠陥分類機能により、eDR7280 電子ビームレビュー装置は、ブロードバンド プラズマ検査装置によって検出された欠陥情報を迅速かつ正確に表示し、欠陥検出にかかる時間を大幅に短縮する。

欠陥モニタリング
Puma 9980、CIRCL5、Surfscan SP5XPは、様々なライン、プロセス、ツールモニタリングアプリケーションについて、歩留まり影響のあるエクスカージョンの早期の原因特定を可能にし、チップ製造メーカーの量産ランプアップを加速し、最先端デバイス技術の歩留まりを最大限に高めることに貢献できる。高められた欠陥タイプの検出能力により、Puma 9980 レーザスキャニング検査装置は、幅広い前工程と後工程の先端パターンアプリケーションで高いスループットのプロダクションランプモニタリングをサポートする。Puma 9980の、デザインを考慮した新しいNanoPointの機能により欠陥検出の感度が改善され、邪魔になるシステマチックな擬似欠陥を抑えられることで、欠陥検査との歩留まり関連性が高まる。

構成変更可能なモジュールを持つCIRCL5は、パラレルデータでデータ収集を用い、高速でコスト効率に優れたプロセスモニタリングを実施する。設定可能なモジュールは、8920iフロントサイド検査モジュール、CV350iエッジ検査/レビュー/計測モジュール、BDR300バックサイド検査/レビューモジュール、マイクロ自動欠陥レビュー/計測モジュール。エッジピーリング欠陥とフロントサイドのパーティクルの関連性など、全ウエハ表面の検査結果の相関を取ることで、CIRCL5は生産上のエクスカージョンの原因の素早い特定を容易にする。

基板またはフィルムにランダムに発生する欠陥やエクスカージョンの低コストかつ早期の検出に必要不可欠なSurfscan SP5XPパターン無しウエハ検査装置は、高度なDUV技術と革新的なアルゴリズムを用い、業界最高を誇る検出感度による高度なプロセス改善アプリケーションを提供し、また製造プロセスのモニタリングにおいてはSurfscanプラットフォームでの最速のスループットを提供する。