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マイクロフォーカスX線透視・CT装置
掲載日：2014/1/20
ビームセンスは1月14～17日にビッグサイトで行われた展示会「エレクトロテスト ジャパン」（ネプコン ジャパン内）に初出展し、マイクロフォーカスX線透視・CT装置「FLEX-M」シリーズを展示していた。同製品の特長は「小型かつ高い濃度分解能をもつこと」（代表取締役 社長の馬場末喜氏）である。高い濃度分解能を実現したのは、同社独自のCCD撮像センサーの低ノイズ技術によるもの。CCDは150万個のピンダイオードが並ぶ非常に高性能のX線センサーである。X線透視画像は単純に線吸収係数と厚さの関係によりコントラストが求まるが、その計算値は実測の濃度ラインともよく一致するという。感度についても「±10%の誤差がないのは珍しい」（馬場氏）。サイズについては1番小型の「FLEX-M345」において幅350×奥行き450×高さ550mmというサイズを実現している（図1）。
光源には高安定のマイクロ焦点X線源を採用。画素数は1500×1000＝150万、センサーサイズは30×20mmで画素サイズは20μmとなる。従来は50～100μm程度だったという。測定は基本的に1画像1秒程度と短時間で、0.1～10秒まで調節ができ、積算回数は最大100回である。
同シリーズは「スマートレントゲン」と名付けられており、最新のコンピュータ画像処理技術を採用した多くの機能を搭載している。たとえばサンプルを回転させることによって2方向からの画像を撮影。基板の高さ情報や両面基板における銅箔パターンの自動解析を行い、ガーバーデータと比較することが可能だ。また3D断層撮影による3D画像を得ることも可能で、共同開発したCTソフトウェアにより、3次元の位置情報及びその吸収係数の数値化ができる。さらに3D CADデータへと変換し、シミュレーションや3Dプリンタ出力などへの応用も可能となっている。
ほかにも任意の直線上における信号出力値を表示するラインプロファイルの表示（図2）や、対象物の面積およびそれに対するボイド率の計測、大面積のサンプルを分割して撮影後合成するタイリング撮影などさまざまな機能を持つ。小型のFLEX-M345（X管電圧10～70kV）のほかに、卓上型の標準機「FLEX-M863」（同10～70kV）、鉄板15mmの透過率をもつ「FLEX-MH867」（同10～130kV）をラインナップにそろえる。
（株）ビームセンス
URL: beamsense.co.jp
