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加工用全固体レーザ
掲載日：2013/2/12
コヒレントはダイシング、スクライビング、マーキングなどにおいて優れた加工品質をもつサブナノ秒の全固体レーザ「Helios」シリーズをリリースした。Heliosは50kHzのパルス繰返周波数と＜600psのパルス幅を特徴とする。高い平均出力と高いピークパワーというユニークな組み合わせにより、エレクトロニクスや太陽電池産業などで求められる高スループットを可能にする。薄膜やSiソーラーセル（反射防止膜もしくはパッシベーション層など）のスクライビングをはじめ、Siウェハのダイシングや幅広い材料の精密マーキングなどに最適。とくに金属へのブラックマーキングや、ファイバレーザでは加工周辺部に熱損傷が生じる繊細な材料へのマーキングに向く。
同Qスイッチレーザはコスト対出力がメリットとなる。とくに共振器からはTEM00（M2＜1.2）の優れた円形ビームが得られ、アンプ部分はモジュール構造となっており、高出力化のニーズにも対応する。波長1064nmのIRモデルをまずリリースする。平均出力が2.5Wのタイプはパルスエネルギーが50kHzにおいて＞50μJ、パルス幅が＜0.79ns、5Wタイプは＞100μJ、＜0.69ns、レーザのヘッドサイズは270×128×177mm。
コヒレント・ジャパン株式会社 産業用レーザセールスグループ
Tel:03-5635-8700
