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高分解能ガルバノメータ
掲載日：2012/10/29
エアロテック社の「Nmark AGVガルバノメータ」と「Nmark CLSガルバノコントローラ」は、レーザ微細加工アプリケーションに対して高い解像度と高処理能力を提供する。先進的インターポレーションエレクトロニクスを適用した同コントローラは、10μm以下の2次元位置決め精度で24ビット以上の有効解像度をもつ。独自の無限視野角機能によってステージとスキャナ運動を途切れなく同期させることで、ガルバノ視野角の制約を取り除き、ステージ全体にわたって光束位置決めが可能になった。
コントローラの位置同期出力機能はレーザパルスをガルバノ位置に直接結び付けるので、ガルバノミラー運動の応答時間を補うために遅れを生じることなく、レーザを正確にトリガーできる。これによりパーツの品質が改善され、複雑なプログラミングが軽減される。
一定のライン間スペースが求められる複数の平行線の配置や、厳しい寸法公差を維持した状態における小半径パターンの高速加工などのアプリケーションに向く。具体的にはレーザ加工や電子機器製造、試験と検査、金属加工、研究開発など。10、14、20mmの開口部とF-θレンズインタフェースを備え、豊富な誘電体多層膜ミラーによってさまざまなレーザ波長に対応する。
Aerotech（株）
Tel:047-489-1743
