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ウエハIDリーダ
掲載日：2011/8/25
コグネックスは新バージョンのウエハICリーダ「In-Sight 1740シリーズ」を発売した。従来シリーズよりもリーダの設定とメンテナンスが簡単になるとともに、読み取り率と信頼性を大きく向上させるための機能を搭載した。これらにより装置の稼動効率を上げるとともに、ウエハIDの設定においてもオペレータの介入の必要がなくなった。今回シリコンウエハに加えてサファイアウエハにも初めて対応し、効率的なLED製造に貢献する。
自動チューニング機能によって、最も読み取りが難しいマークの読み取り率を大幅に高め、エラーを発生させないようにることができる。処理速度の向上とこの新機能により、読み取り時間を40%短縮した。従来の読みやすさを重視した明るい画像を生成することで定評がある内部照明システムを搭載している。さらにハイコントラストの暗視や画像を得るための外部LEDを内蔵したクラス最高の照明システムも搭載する。
また新しく開発されるウエハプロセス処理への対応も可能だ。外部照明拡張ポートから電源を供給する特殊照明を使い、新しい画像要件に対応するための拡張ができる。赤外の照明を備えたモデルもラインナップしているなど、特殊なプロセス処理ウエハにも対応する。
設定がシンプルなため、メンテナンスも簡易である。従来システムのIn-Sight 1720シリーズと寸法や取り付け穴パターン、リモートコマンド設定が完全に同じであるため、従来シリーズが使われている場所でそのまま利用できる。
付属ソフトウェア「In-Sight Explorer Wafer ID ver.4.5.0」には読み取りエラーが発生しやすい悪条件に対応できるよう、自動画像改善フィルタが搭載されている。またすべての300mmウエハにおいてSEMI M1.15基準に従い、T7データマトリックスコードとOCRマーク両方に対応する。
コグネックス（株）
Tel: 03-5977-5409
www.cognex.co.jp
