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近赤外顕微分光測定機
掲載日：2011/8/18
オリンパスは、可視光から近赤外線領域までの多様な分光特性を高速で測定できる、近赤外顕微分光測定機「USPM-RU-W」を発売する。同製品により、開発・製造現場においてレンズなどの光学素子のコーティングを評価したり、電子基板上の微細なエリアの反射率や膜厚を測定できる。測定可能な項目は、反射率、物体色、膜厚が標準搭載、オプションで透過率測定、45°反射率測定の計5種類。
本バージョンで可視から近赤外領域（380nmから1050nm）の幅広い波長において反射率が測定できるようになったほか、物体色測定、多層膜厚測定機能を標準で搭載した。本測定機では専用の対物レンズでフォーカスすることにより、直径17μmから70μmの微小領域の測定が可能になる。また平面の微細部だけでなく球面、非球面などの曲面も測定できる。全波長を同時に分光することなどにより高速で測定できるため、一般の分光光度計に比べて作業性に優れる。
本体は約26kg、サイズは360×446×606mm、コントロール電源ボックスは約6.7kg、サイズは250×270×125mm。波長表示分解能が1nm、ステージのサイズは200×200mm、耐荷重量は3kg、動作範囲はX、Y軸が±40mm、Z軸が125mm。
オリンパス（株）
産業営業部 計測器営業G
Tel: 03-6901-9140
www.olympus.co.jp
