関連イベント
関連雑誌
Product Details 製品紹介 詳細
赤外透過検査システム
掲載日：2011/8/18
モリテックスは、MEMS・半導体業界向け赤外透過検査システム「IRise」改良型の販売を開始した。改良型IRiseは、従来の基本機能を継承しつつ内部機構やソフトウェアのリニューアルを行い、時間当たりの評価性能を2.6倍に向上。またオプション機能に自動外観検査機能を追加した。
IRiseは、シリコンウエハを赤外線が透過する特性を活用した検査システムである。一台でマクロからミクロまでのウエハレベルの評価が可能で、8インチまでのウエハの一括検査に対応できる点が特長。本装置を使用することにより、人の手に触れずにウエハを評価できるCtoCシステムの構築にも対応できるようになる。
用途としては、各種気密封止接合界面や3次元実装の評価・検査、低誘電率膜のグルービング後評価、WLCSP、SiPのデバイス内部の不良解析などに向く。倍率は33から198倍および330から1760倍。照明系は近赤外同軸、近赤外透過、オプションとして近赤外斜光がある。可視光および紫外光への対応も可能。ステージのストロークはX／Y軸が200mm、Z軸が100mmである。倍率、低・高倍率レンズの切り替え、照明切り替え、XYZステージについてはPC一括で制御できる。
サイズは625×707×730mm。
（株）モリテックス
MVS・工業用営業本部 新事業開発部
Tel: 03-6367-3631
www.moritex.co.jp
