Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

February 27, Santa Clara--EVグループ(EVG)とブリスベインマテリアルテクノロジー(BMT)は、BMTの画期的なXeroCoat材料をベースにした新しい反射防止(AR)膜を発表した。これによりLEDデバイスのルーメン出力が著しく高まる。
BMTは特殊材料会社、EVGはMEMS、ナノテクノロジー、ソーラおよび半導体市場向けにウエハボンディングやリソグラフィ装置を供給している企業。
共同開発した製造ソリューションは、ARコーディング処理装置とチューナブルで耐久性の高い無機コーティング材料との組み合わせを利用するもので、両社の説明によると、これによりルーメン出力は最大8％増加する。このARコーティングソリューションは、確立されている製造方式にシームレスに組み込むことができ、室温、大気圧でLEDコンポーネントのコーティングが可能になる。
戦略的提携契約の下で、EVGは同社の高精度コーティングシステムをBMT独自の材料とプロセスに最適化し、業界最先端のパフォーマンスとコストでARコーティングの高歩留まり製造を可能にした。この画期的な技術により、プラスチックやガラスレンズおよび照明器具に、室温、大気圧で液体前駆体からのナノポーラス二酸化ケイ素(SiO2)コーティングが可能になる。SiO2膜は、フィールドアプリケーションの20年以上に相当する2.5年の加速エージングテストで厳しい試験を経ており、最大の耐久性とフィールドでの信頼性を実現するために表面に共有結合ボンディングする。
この新しいプロセス用の大面積噴霧蒸着法は、プロセスの柔軟性と拡張性を最大化する。EVGの技術担当エグゼクティブディレクタ、Paul Lindner氏によると、この工程で使用される大面積噴霧蒸着技術はディスプレイ技術分野で10年以上前から商用生産されている。「このフィールド実績のある装置ソリューションとBMTの新しい材料を組み合わせることで多数の照明器具に迅速かつ均一なナノスケール膜をコーティングすることができる。これは、当社のLED顧客の数量およびコスト目標に応える重要な仕様である。さらに、スプレイコーティングによって、レンズなどの曲線形状の広い範囲へのコーティングが可能になる。これもLED照明市場の重要な要求の1つである」と同氏はコメントしている。
(詳細は、 www.evgroup.com)