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中国HG Genuine、AIXTRONシステムでIII-V光コンポーネント増産
August 27, 2013, 武漢--AIXTRON SEによると、中国のWuhan Huagong Genuine Optics Tech Co., Ltd(武汉华工正源光子技术有限公司)が、InP基板で発光/受光デバイスを生産するために6×2-インチClose Coupled Showerhead(CCS)エピタキシャル成長システムを発注した。
HG Genuineの主任研究員、Zhaozhong Wang氏は、「この新しいシステムで当社は予定していた増産にとりかかり、高品質のエピタキシ製品を開発することができる」とコメントしている。
HG Genuineは、エピタキシ、チップ製造、デバイス、光モジュールやサブシステムの完全量産ラインを持つ中国メーカーの1社。製品範囲は、半導体レーザとディテクタチップ、アクティブデバイス、トランシーバに及び、これらはデジタル通信、アナログ通信、光センサで広く応用されている。
AIXTRONのCCS 6×2インチシステムは、R&D用に設計されている。CCSシステムを用いて開発されたプロセスは、量産CRIUSプラットフォームに展開して簡単に拡張できる。CCSの3ゾーンヒータは、最高の温度均一性基準を実現している。
HG Genuineの主任研究員、Zhaozhong Wang氏は、「この新しいシステムで当社は予定していた増産にとりかかり、高品質のエピタキシ製品を開発することができる」とコメントしている。
HG Genuineは、エピタキシ、チップ製造、デバイス、光モジュールやサブシステムの完全量産ラインを持つ中国メーカーの1社。製品範囲は、半導体レーザとディテクタチップ、アクティブデバイス、トランシーバに及び、これらはデジタル通信、アナログ通信、光センサで広く応用されている。
AIXTRONのCCS 6×2インチシステムは、R&D用に設計されている。CCSシステムを用いて開発されたプロセスは、量産CRIUSプラットフォームに展開して簡単に拡張できる。CCSの3ゾーンヒータは、最高の温度均一性基準を実現している。
