Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

August 5, 2013, Silverwater--オーストラリアのBluGlass Limitedは、同社の多目的RPCVD技術でオーストラリア政府の助成金、約300万ドルを獲得した。同技術は、シリコンを含む多様な基板で、高効率、省エネ、低コストGaN LED製造に使用される。プロジェクトは、オーストラリア連邦政府のクリーン技術イノベーションプログラムの一部。 プロジェクトは、このような省エネLEDデバイスの生産で、グリーンハウスガス排出量を大幅に削減することを目標にしている。BluGlass独自の低温リモートプラズマ化学気相法(RPCVD)技術は、デバイスメーカーにパフォーマンスとコストの両面で大きな優位性をもたらすものである、と同社は説明している。推定では、RPCVD製造装置を生産に用いると、RPCVDあたり39,000t CO2のグリーンハウスガス排出削減になる。 この助成金をBluGlassは、GaN-on-SiのR&D促進にあてる。シリコンはローコスト、大面積基板であるが、現状ではLED半導体材料成長向けのアプリケーションでは制限がある。その理由は、高温MOCVD成長が基板を反らすことになり、製造歩留まりが悪くなるためであるとされている。RPCVDは低温プロセスであり、GaN-on-Si基板成長に適している。 (詳細は、 www.bluglass.com.au)