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Element Six、CVD人工ダイヤモンドの製造能力増強

July 12, 2013, San Francisco--エレメントシックス(Element Six)は、マイクロ波CVD人工ダイヤモンドの製造能力を前年比60%増強すると発表した。半導体と光ビジネスセグメントの成長に後押しされたエレメントシックスは、熱管理ソリューションに対する需要増に対応するために製造能力を増強した。
エレメントシックス社の技術部長、Adrian Wilson氏によると、同社は過去2年にわたり年率30%の受注増となっている。この受注増は、半導体市場における新しいアプリケーションによるものであるとして同氏は「業界は人工ダイヤモンドに特徴、利点が多いことを認識し始めているので、パッケージ設計者やメーカーの関心が高まる」と話している。
エレメントシックスは、米国シリコンバレー工場、UKアスコット工場の生産能力を拡張した。アスコットはすでに世界最大のCVDダイアモンド製造サイトになっている。
拡張がサポートする3製造領域について同社以下のように説明している。

・CVDダイアモンド熱材料-熱伝導性1000~2000W/mK、人工ダイアモンドは半導体モジュールに組み込んで効率的な熱拡散に使用される。温度を20度下げることでデバイスの寿命を4倍にのばす。
・人工ダイアモンドオプティカルウインドウ-これはLPP(Laser Produced Plasma) EUVリソグラフィシステムを可能にするもので、エレメントシックスの大型CVD人工ダイアモンドオプティカルウインドウ(直径71~80mm)は、EUV光生成に必要なパワーレベルに対する耐性があり、システムダウンタイムを下げ、ウェハスループットを上げる。
・GaN-on-diamondウェハ-世界で最も熱伝導性が優れた材料の1つ、GaN on 独立多結晶CVDダイアモンドは、室温で銅よりも5倍伝導性が優れている。熱除去が迅速、効率的、経済的になり、動作温度と全般的なシステムレベルコストが下がり、RFデバイスのパワーが向上する。GaN-on-diamond技術は、放熱が3倍改善し同時にRF機能を維持していることから、化合物半導体業界賞を獲得している。
(詳細は、 www.e6.com)

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