Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

July 4, 2013, 小山--ギガフォトン（Gigaphoton Inc）は、EUV露光用LPP光源(以下LPP光源)において、2時間の連続稼働を確認したと発表した。
今回の2時間の連続稼働は、ギガフォトンにて開発中のプロトタイプLPP光源にて達成された。
プロトタイプLPP光源で、すず(Sn)ターゲット(ドロップレット)に対し、ダブルパルス(固体レーザによるプリパルスと炭酸ガス（CO2）レーザによるメインパルス)を照射することでEUV発光させ、デブリミティゲーションとして、磁場を使ったデブリ除去、H2ガスを用いたSnエッチングを組み合わせることにより、LPP光源システムとしての稼働を確認している。
今回、平均出力として5W、EUV発光効率(Conversion Efficiency: CE)2%のEUV発光を確認。現状の市場におけるEUV光源出力は10W程度であり、今回ギガフォトンが達成した連続稼動出力は、プレプロダクションに適用可能なレベルでのシステムの連続稼働成功として重要なマイルストーン。同社は今後さらなる開発を進めることで、最終的に250Wを達成する予定。
ギガフォトンは2002年から、高出力と安定性・経済性を追求した独自技術によるLPP光源の開発に取り組んでおり、20µm以下の微小ドロップレットのオンデマンド供給、短波長の固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去などユニークな方式を提案してきた。
LPP光源技術は、微小ドロップレットを必要な時にのみ供給するオンデマンド供給であるため、ドロップレートジェネレーターの寿命を延長させ、コストとダウンタイムの削減を可能にする。また、短波長の固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスの最適な組み合わせにより、高いEUV発光効率(Conversion Efficiency: CE)を実現することで、高効率で大出力のEUV出力を可能とする。さらに、コレクターミラーの寿命を最大化するため、超電導磁石による磁場を用い、ドロップレットから発生するSnデブリをSnキャッチャーへガイドすることで除去し、さらなるコストとダウンタイムの削減を実現する。

ポータルサイトでは、NICTにおいて安全性の評価を行った暗号プロトコルの評価結果に関する技術的情報を公開する。
- 暗号プロトコルの記述
- 求められるセキュリティ機能の記述
- 攻撃環境の記述
- 暗号プロトコル評価ツールの出力とその説明

ポータルサイトは、主に暗号プロトコルを用いたICTシステムの設計や暗号プロトコルのネットワーク機器への実装に携わる技術者向けに情報提供する。
今後の展開についてNICTは、「今秋を目処に、我が国の暗号プロトコル評価研究を活性化させるための機能を同ポータルサイトに追加するとともに、その後も暗号プロトコル評価技術を高度化する研究開発の推進や、暗号プロトコル評価の実施と評価結果の提供、国際標準化への寄与などを行うことで、同分野の国際的な中心拠点となることを目指す」と説明している。