Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

December 21, 2012, 京都--京セラの100% 子会社で水晶デバイスの開発製造会社、京セラクリスタルデバイスは、業界で初めて原子拡散接合法を応用した水晶デバイス「温度特性フリーエタロンフィルタ」の開発に成功した。
エタロンフィルタは、光通信の大容量伝送システムにおいて、異なる複数の光波長のズレを感知する部品。今回の開発では、業界で初めて、原子拡散接合法を応用した水晶デバイスの製品化に成功したことで、エタロンフィルタの温度特性フリーと、高精度・高信頼性かつ小型化を実現した。2013年1月よりサンプル対応を開始し、販売は京セラがおこなう。

主な製品特長
1.温度特性フリーを実現する、業界最高レベルの温度特性: 業界最高レベルの温度特性±0.15pm/℃(typ)を実現。これは、正の温度特性を有する水晶と、負の温度特性を有する結晶を組み合わせる設計技術と高度な水晶加工技術に加え、業界で初めて、原子拡散接合法を応用したことにより実現。温度特性フリーのエタロンフィルタは、温度調節用のペルチェ素子が不要となるため、波長可変レーザモジュールの小型化と省電力化に貢献する。
2.業界初、原子拡散接合法を応用した水晶デバイス: 原子拡散接合法は、東北大学の島津武仁教授が開発した直接接合技術で、有機系接着剤を使用せずに、ウエハや基板を、無加熱・無加圧・無電圧で接合する技術。京セラクリスタルデバイスは、島津教授の研究グループとの共同開発により、業界で初めて水晶デバイスに原子拡散接合法を応用し、水晶ウエハを、数原子層から数10nmと極めて薄い金属膜で、高強度に接合することに成功。これにより、従来の接合方法である、接合強度が弱いオプティカルコンタクトや、接合厚みの管理が困難な有機系接着剤による接合などの課題を解決し、さらにエタロンフィルタの高精度、高信頼性かつ小型化を実現した。