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赤外分光でナノスケール製造をサポート
October 15, 2012, Urbana--イリノイ大学とアナシスインスツルメンツ(Anasys Instruments Inc)の研究チームは、最先端のナノ製造をサポートする新しい診断ツールを報告している。
工学ブリス校William King教授は、「ポリマナノ構造および集積ポリマナノ構造システムの評価にこれまでAFM-IRを用いてきた。この研究では100nmまでのポリマラインを化学的に分析できる。AFM-IRを用いて得られる赤外吸収線を利用して異なるナノパタンのポリマを明確に区別できる」と説明する。
AFM-IRでは、急速パルス赤外レーザを薄いサンプルに向けると、IR光を吸収して急速に熱機械的拡張が生ずる。ポリマナノ構造と接触しているAFM先端は、この拡張に応じて共振し、この共振をAFMで計測する。
「ナノテクノロジー研究者は、集積ナノ構造の作製に関心を持っていたが、ナノスケールで材料組成を特定するツールの欠如に限界づけられていた」とアナシスインスツルメンツCTO、Craig Prater氏は指摘する。「AFM-IR技術は、ナノスケール形態をマッピングし、同時にナノスケールで化学分析を行う」。
ナノテクベースの材料特定により、ナノ製造に必要な化学計測が可能になる。
(詳細は、www.illinois.edu)
工学ブリス校William King教授は、「ポリマナノ構造および集積ポリマナノ構造システムの評価にこれまでAFM-IRを用いてきた。この研究では100nmまでのポリマラインを化学的に分析できる。AFM-IRを用いて得られる赤外吸収線を利用して異なるナノパタンのポリマを明確に区別できる」と説明する。
AFM-IRでは、急速パルス赤外レーザを薄いサンプルに向けると、IR光を吸収して急速に熱機械的拡張が生ずる。ポリマナノ構造と接触しているAFM先端は、この拡張に応じて共振し、この共振をAFMで計測する。
「ナノテクノロジー研究者は、集積ナノ構造の作製に関心を持っていたが、ナノスケールで材料組成を特定するツールの欠如に限界づけられていた」とアナシスインスツルメンツCTO、Craig Prater氏は指摘する。「AFM-IR技術は、ナノスケール形態をマッピングし、同時にナノスケールで化学分析を行う」。
ナノテクベースの材料特定により、ナノ製造に必要な化学計測が可能になる。
(詳細は、www.illinois.edu)
