Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

August 15, 2012, Beverly--最先端のイメージングシステムを製品化しているサイオニクス(SiOnyx, Inc)は、戦略的投資と技術開発でIn-Q-Tel(IQT)と契約した。IQTは、米国情報機関の任務をサポートする革新技術ソリューションを見出して戦略的投資を行う独立企業。
今回の戦略的提携を通じてSiOnyxは、イメージングシステムにおけるブラックシリコン・イメージセンサの組込を加速する。SiOnyxの技術開発により、VIS/NIR/SWIRイメージングがローコストのCMOSで利用できるようになる。
IQTの物理・生物技術部門担当シニアVP、Syd Ulvick氏はSiOnyxについて、「SiOnyxは、同社独自のCMOSイメージセンサ技術を用いて最先端のイメージングシステム用のプラットフォームを開発した。この独自のアプローチにより先進的イメージングシステムの大規模導入へ新たな道が開けることになる」とコメントしている。
ブラックシリコンは、カルコゲン雰囲気(ドーパントは一般的にはH2S/SF6)の中でシリコンウェハにフェムト秒レーザを照射することでシリコン表面に微小スパイクを作製し、標準的シリコンチップの500倍以上の高感度を実現したデバイス。フェムト秒レーザを使うのは、シリコンの化学構造にドーパントを打ち込むためで、結果的にドーパントがシリコンの中にロックインされ、冷却により再結晶化することになる。高ドープ(1.6%の硫黄を含むナノ結晶シリコン)、厚さ200～300nm、浅い接合インタフェースのシリコンは、従来の半導体材料と比べて光に対する感度は数千倍も高い、とDr. Eric Mazurは説明している。
(詳細は、www.sionyx.com)