Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

July 31, 2012, Flums--エバテク(Evatec)は、ブロードバンド光モニタリングを用いてその場で「再-最適化」することで全てのレイヤの光パフォーマンスをチェックし、後続工程を調整する。これにより、最終の光学的スタックが理論設計に一致し、要求の厳しい大部分の光学的スタックで最高歩留まりが確実に実現できるようにする。
このコーティングシステムは、個々のコーティング層が蒸着された後、コーティングスタックの光パフォーマンスが理論設計に一致しているかどうかを、その場で、リアルタイムにチェックすることができ、自動的に残りの後続工程を修正して最終スタックが当初の設計にマッチするようにする。製造トレランスが厳しくなり、歩留まりが改善され、複雑なコーティングでは製造ストの大幅削減となる。この新しい工程は量産で利用可能となっている。
同社の考えでは、新しい工程の開発時間を最小化することでスループットを維持し、コストが下がる。当初の理論設計は、複雑な光学スタックでは新しい工程の始まりに過ぎない。コーティングソースのパフォーマンスは正確な材料と加工されるレイヤに最適化される必要があり、コーティングプロセスそのものを制御して、個々のレイヤが膜設計における目標スペクトラムとなるように最適の時間で止められなければならない。
Optics Toolboxは、これらの工程全てを統合している。独自のストラテジー・ジェネレータが、標準的なソフトウエアパッケージ、Filmstar, Optilayer, Essential Macleodなどからの入力を受けて、各レイヤの終点を決め、エバテクのKhanシステムとプロセスコントローラが、BAK蒸着装置、MSPスパッタリングプラットフォームでシームレスな実行を進める。
(詳細は、www.evatecnet.com)