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Kyma、10インチ径AlN on サファイアテンプレート製品をデモ
May 25, 2012, Raleigh--Kyma technologies, Incは、10インチ径AlN on サファイアテンプレートの実証に成功したと発表した。
KymaのAlN(窒化アルミニウム)テンプレートは、同社特許のプラズマナノコラム蒸着(PVDNC)技術を用いて製造される。Kymaによると、同技術によりGaN LEDメーカーは、スループット、コスト、パフォーマンスの向上が得られる。LEDメーカーは、KymaのPVDNC AlNテンプレートを選んで、ベア/パタン化サファイア基板と置き換え、青、緑、白色LEDを製造する。250mm(10インチ)径サファイア基板は、ロシア、StavropolのMonocrystalによって提供される。
最近まで、GaN LEDウェハ製造の標準径は50mm(2インチ)だった。先頃、サファイアメーカーはサファイアブールのサイズを大きくし、これにより以前より大きなサファイア基板が切り出せるようになった。サファイア径は、あるサファイアメーカーによると12インチまでが可能だという。これにより主要GaN LEDメーカーの中には、より大きな径、150mm(6インチ)に移行し、製造スループットの向上、規模の経済を実現しようとしているところもある。10インチサファイアベースAlNテンプレートは、今実証されたばかりだが、KymaによるとLED業界は、150mm(6インチ)径の先に目を向け始めている。
2011年2月、Kymaは、新しい量産PVDNC AlNテンプレート製造装置を稼働させ、世界初の300mm(12インチ)径AlN on Siテンプレートを実証。同年11月、同じ装置で製造した製品が顧客の品質認定に成功したと発表した。同社CTO、Ed Preble氏は、「PVDNC AlNプロセスによる径のスケーラビリティが確認された」とコメントしている。
(詳細は、www.kymatech.com)
KymaのAlN(窒化アルミニウム)テンプレートは、同社特許のプラズマナノコラム蒸着(PVDNC)技術を用いて製造される。Kymaによると、同技術によりGaN LEDメーカーは、スループット、コスト、パフォーマンスの向上が得られる。LEDメーカーは、KymaのPVDNC AlNテンプレートを選んで、ベア/パタン化サファイア基板と置き換え、青、緑、白色LEDを製造する。250mm(10インチ)径サファイア基板は、ロシア、StavropolのMonocrystalによって提供される。
最近まで、GaN LEDウェハ製造の標準径は50mm(2インチ)だった。先頃、サファイアメーカーはサファイアブールのサイズを大きくし、これにより以前より大きなサファイア基板が切り出せるようになった。サファイア径は、あるサファイアメーカーによると12インチまでが可能だという。これにより主要GaN LEDメーカーの中には、より大きな径、150mm(6インチ)に移行し、製造スループットの向上、規模の経済を実現しようとしているところもある。10インチサファイアベースAlNテンプレートは、今実証されたばかりだが、KymaによるとLED業界は、150mm(6インチ)径の先に目を向け始めている。
2011年2月、Kymaは、新しい量産PVDNC AlNテンプレート製造装置を稼働させ、世界初の300mm(12インチ)径AlN on Siテンプレートを実証。同年11月、同じ装置で製造した製品が顧客の品質認定に成功したと発表した。同社CTO、Ed Preble氏は、「PVDNC AlNプロセスによる径のスケーラビリティが確認された」とコメントしている。
(詳細は、www.kymatech.com)
