Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

August 24, 2011, Bensenville--ルビコン・テクノロジー(Rubicon Technology, Inc)は、同社の結晶製造装置をRubicon Furnace VersionES2-XLG3.0にアップグレードしたと発表した。同社は、LED、RFIC、半導体、光業界にサファイア基板などを供給している。
同社最新の装置は、高品質、大口径サファイア材料製造用に設計されており、自動化をさらに進め、安定した歩留まりが得られるようになっている。
ルビコンは、大量生産設計(DHVM)アプローチのために、これまで装置設計に多くの改良を加えており、これによって業界最先端のサファイア結晶成長の量産プラットフォームを実現してきた。VersionES2-XLG3.0は、一段と自動化を進めたことで歩留まりがさらに改善されている。ES2-XLG3.0には多くのイノベーションが投入されており、現在米国イリノイ州、Batavia、Bensenvilleの高効率結晶成長工場で稼働している。
ルビコンの社長/CEO、Raja Parvez氏によると、他の基板材料製造に比べてサファイア結晶成長は極めて複雑であり、安定したパワー、成長プロファイル、冷却プロファイル、フィードバック制御メカニズムなど、多様な変数を最適管理することで初めて高品質のサファイア結晶の歩留まりが最大化できる。「大口径ウェハ向けのサファイア製造になると、この点は一層重要になる。VersionES2-XLG3.0に投入されている総計数100年に及ぶ経験とイノベーションを持つ当社の設計と装置のエンジニア、材料研究者が業界最先端の歩留まりとパフォーマンスを実現した」と同氏はコメントしている。
市場調査会社iSuppliによると、世界のLED市場は2013年には143億ドル規模になる。
LED製造の大口径ウェハへの移行は始まったばかりであり、主要LEDチップメーカー数社が2011/2012年に大口径ウェハへの移行もしくはテストを表明している。