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モリテックス、赤外透過検査システム「IRiseR」改良型本格販売を開始

July 27, 2011, 東京--モリテックスは、MEMS・半導体業界向け赤外透過検査システム「IRiseR」の改良型の本格販売を開始する。
改良型IRiseRは、従来型の基本機能を継承しつつ内部機構やソフトウェアのリニューアルを行い、シリコンウェハやMEMS デバイスの時間当たり評価性能を2.6 倍に向上させ、オプション機能に自動外観検査機能(CtoC対応)を追加した。また、2011年11 月にドイツ連邦共和国シュツットガルトで開催される、展示会「VISION2011」へ出展し、海外展開を図る。
IRiseRは、モリテックスが2007 年に開発したシリコンウェハを赤外光が透過する特性を活用した検査システム。1台でマクロからミクロまでのウェハレベルの評価が可能で、8 インチ(200mm)ウェハまでの一括検査に対応できる点が評価され、MEMSデバイスメーカーや半導体業界、研究機関などで広く活用されている。
自動車向けを始めとするMEMS 市場は今後急速な成長が見込まれており、2020 年までに現在の市場規模の2 倍を超える1 兆円規模の市場になるとの調査結果もあることから、この分野における検査関連需要は大きく拡大するものと考えられる。また、MEMS 技術は、半導体分野でも3 次元実装やシリコン貫通電極(TSV)、光通信分野との融合などの研究が進められていることから、モリテックスではIRiseRの販売活動に注力していく。

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