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AIXTRON、GaN LED向け世界最大のMOCVD装置を発表
July 7, 2011, Aachen--AIXTRONはMOCVD装置の製造能力、スループット、LED製造コストで新たな基準となる製造装置を発表した。
新しいAIXTRON CRIUS II-L、16×4インチ、69×2インチ、世界最大の製造能力を持つMOCVD装置が発売された。この新しい装置の進化は、2010年に発表され、市場で実績を積んでいるCRIUS IIプラットフォームをベースにしている。
「LED業界では製造コスト削減は重要な問題である。特に固体照明製品向けでは、コスト削減が求められる。MOCVD関連の製造コストを分析した結果、運用コストに最も強い影響を及ぼす主要パラメータが装置の製造能力であることが明らかになった」と同社マーケティング担当VP、Dr. Rainer Beccardはコメントしている。
「この新しいCRIUS II-Lは、市販装置の中で世界最大の製造能力を持つので、LEDチップコストの急低下が可能になる。優れた均一性と再現性による傑出した歩留まりと相俟って、この装置の製造能力もスループットも世界最高となっている。CRIUS II-L装置は、ウエフアサイズ2～8インチに最適化されて設計されており、一層の生産性向上が期待できる」。
CRIUS II-L装置は、前世代の装置と同様に、Close Coupled Showerhead(CCS)コンセプトをベースにしている(注)。
(注) CCS技術: 装置上方の無数のガスチャネルからガスがシャワーのように供給され、均一性の優れた蒸着ができる仕組み。シャワーヘッドに相当するガスチャネルは、ウエフアに近接しているので、Close Coupled Showerhead技術と呼ばれている。
(詳細は、www.aixtron.com技術説明参照)。
新しいAIXTRON CRIUS II-L、16×4インチ、69×2インチ、世界最大の製造能力を持つMOCVD装置が発売された。この新しい装置の進化は、2010年に発表され、市場で実績を積んでいるCRIUS IIプラットフォームをベースにしている。
「LED業界では製造コスト削減は重要な問題である。特に固体照明製品向けでは、コスト削減が求められる。MOCVD関連の製造コストを分析した結果、運用コストに最も強い影響を及ぼす主要パラメータが装置の製造能力であることが明らかになった」と同社マーケティング担当VP、Dr. Rainer Beccardはコメントしている。
「この新しいCRIUS II-Lは、市販装置の中で世界最大の製造能力を持つので、LEDチップコストの急低下が可能になる。優れた均一性と再現性による傑出した歩留まりと相俟って、この装置の製造能力もスループットも世界最高となっている。CRIUS II-L装置は、ウエフアサイズ2～8インチに最適化されて設計されており、一層の生産性向上が期待できる」。
CRIUS II-L装置は、前世代の装置と同様に、Close Coupled Showerhead(CCS)コンセプトをベースにしている(注)。
(注) CCS技術: 装置上方の無数のガスチャネルからガスがシャワーのように供給され、均一性の優れた蒸着ができる仕組み。シャワーヘッドに相当するガスチャネルは、ウエフアに近接しているので、Close Coupled Showerhead技術と呼ばれている。
(詳細は、www.aixtron.com技術説明参照)。
