Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

July 6, 2011, San Jose--ノベラスシステムズ(Novellus Systems)は、VECTORプラズマCVD(PECVD)システムを中国SemiLEDsに出荷した。
この新しいVECTORは中国佛山のSemiLEDs工場に設置され、SemiLEDsのMvpLED高効率LED製品の生産に使用される。
ダイあたりのコスト、ルーメンあたりのコストは、LED技術が照明市場でメインストリームになるための重要要素。現在のLED製造技術は2インチ、3インチ、4インチ径のサファイア基板をベースにしている。LED製造で使用されている生産性の低い製造工程は膨大な消費電力量となっており、2インチサファイアウエフア製造で200kWh以上となる。
VECTORシステムは、業界最先端のパフォーマンス、幅広いプロセスウインドウ、高い生産性を特徴としており、従来のLED製造ソリューションと比べてダイあたりの製造コストが低い。マルチウエフアキャリア構成により、VECTOR LEDシステムは、全てのウエフアサイズ(2、3、4、6、8、12インチ)を取り扱うことができ、優れたスループットと膜品質、均一性が各サイズで実現できる。LED製造で用いられている従来のPECVDリアクタと比べて、VECTOR LEDは低温で膜蒸着ができるので、優れた製造工程制御、優れたエネルギー効率が特徴となっている。