Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

April 28, 2011, 小山--ギガフォトン（Gigaphoton Inc）は、現在50%の株式を保有するコマツ（Komatsu Ltd）が残り50％の株式をウシオ電機(ウシオ）より買い取ることで合意したと発表した。これにより、コマツとウシオとの間で締結されていた合弁契約が解消され、ギガフォトンはコマツの100％子会社となる。今後5月中旬を目処に株式は異動する。
ギガフォトンは、半導体リソグラフィ用光源としてのエキシマレーザの開発・製造・販売・サービスを行う会社として、2000年8月にコマツとウシオの対等出資で設立された。以来、ウシオのグローバル販売・サービス体制とコマツが保有していたエキシマレーザに関する技術・生産体制を融合させることにより事業を発展させ、現在は世界シェアの約50％を獲得し、成果を上げてきた。
現在、次世代の最先端半導体露光装置用として、EUV（Extreme Ultraviolet：極端紫外）光源の研究開発が急務であり、ギガフォトンではLPP (Laser-Produced Plasma) 方式での製品開発を進めている。一方でウシオがこれと異なるDPP (Discharge-Produced Plasma)方式での製品化を行っていることから、今後この2つの発光方式が実用化に至った場合、両社が競合関係になる可能性があったが、これに対処し、お互いの発展を図るために今回合弁が解消されることとなった。
今後、ギガフォトンは一段とEUVの製品開発を促進し、事業拡大を図る予定。