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EVグループ、HB-LED市場向けにマスクアライメントシステム発売
February 24, 2011, Santa Clara--EV Group(EVG)は、高輝度LED(HB-LED)、化合物半導体、電力用半導体素子製造に最適化した製品ポートフォリオに最新製品を追加した。
新しいEVG620HBL完全自動マスクアライメントシステムは、同社の実績豊富なマスクアライメントプラットフォームをベースに、高強度UV光源と5つのカセットステーションを追加して競合製品を凌駕し、デバイスの連続製造を可能としている。このため、EVG620HBLは業界最高のアライメント精度と歩留まりで1時間に6インチウエハ165枚のスループットが可能。
市場調査会社、グローバル・インフォメーション(Global Information, Inc)によると、世界の高輝度LED(HB-LED)の消費は今後10年急増を続け、2010年の100億900万ドルから、2020年には460億500万ドルに達する。この原動力となるのは固体照明および一般照明アプリケーションの爆発的増加。同様にしてサイネージ、プロフェッショナルディスプレイなども急成長する。この需要増に応えるために、HB-LEDメーカーは製造能力増強を迅速に行い、最高の歩留まりとなるように製造プロセスを最適化する必要がある。これらすべてのことは、最小所有コストで製造を自動化することによって実現する。
こうしたニーズに応えていくためにEVGは、昨年の7月に発表されたEVG560HBL自動ウエハボンディングシステムに続いて、EVG620HBLアライナを開発した。この市場では同社は実績があり、HB-LEDメーカー上位5社のうち4社がEVGのボンダやマスクアライナを導入している。
EVG620HBLのもう1つの特徴は、特別なレシピ制御顕微鏡を備えている点にある。その照射スペクトラムは、多様なウエハや層材料で最高のパタンコントラストが確実に得られるように最適化されている。材料としては、サファイア、シリコンカーバイド(SiC)、AlN、金属やセラミックが含まれる。
新しいEVG620HBL完全自動マスクアライメントシステムは、同社の実績豊富なマスクアライメントプラットフォームをベースに、高強度UV光源と5つのカセットステーションを追加して競合製品を凌駕し、デバイスの連続製造を可能としている。このため、EVG620HBLは業界最高のアライメント精度と歩留まりで1時間に6インチウエハ165枚のスループットが可能。
市場調査会社、グローバル・インフォメーション(Global Information, Inc)によると、世界の高輝度LED(HB-LED)の消費は今後10年急増を続け、2010年の100億900万ドルから、2020年には460億500万ドルに達する。この原動力となるのは固体照明および一般照明アプリケーションの爆発的増加。同様にしてサイネージ、プロフェッショナルディスプレイなども急成長する。この需要増に応えるために、HB-LEDメーカーは製造能力増強を迅速に行い、最高の歩留まりとなるように製造プロセスを最適化する必要がある。これらすべてのことは、最小所有コストで製造を自動化することによって実現する。
こうしたニーズに応えていくためにEVGは、昨年の7月に発表されたEVG560HBL自動ウエハボンディングシステムに続いて、EVG620HBLアライナを開発した。この市場では同社は実績があり、HB-LEDメーカー上位5社のうち4社がEVGのボンダやマスクアライナを導入している。
EVG620HBLのもう1つの特徴は、特別なレシピ制御顕微鏡を備えている点にある。その照射スペクトラムは、多様なウエハや層材料で最高のパタンコントラストが確実に得られるように最適化されている。材料としては、サファイア、シリコンカーバイド(SiC)、AlN、金属やセラミックが含まれる。
