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Veeco、HB-LED向けにMOCVDマルチリアクタシステム
February 9, 2011, N.Y.--ビーコ(Veeco Instruments Inc)は、HB-LED製造用にTurboDisc MaxBright GaN MOCVDマルチリアクタシステムを発売した。
同社によると、MaxBrightはすでに大手LEDメーカーが採用を決めており、さらに韓国、台湾、中国のメーカー向けにも出荷することになる。
MaxBrightは、2もしくは4台のリアクタクラスタアーキテクチャに複数の新しい高スループットMOCVDリアクタを統合し、VeecoのUniform FlowFlange技術と自動化技術とを利用している。同システムは、実績のあるK465iをベースにしており、ウエハ容量拡張と、独自のクローズドループ熱制御技術の両方によって特徴付けられる。このリアクタは、標準のK465iに比べてスループットは25％向上しており、パフォーマンスの優位点(均一性、再現性、材料品質)も強化されている。MaxBrightシステムは、Veecoによると、業界トップクラスのウエハ容量、216×2”、56×4”、24×6”、12×8”ウエハに対応している。さらに、K465iからMaxBrightへのシームレスなレシピ移行によって、ユーザは迅速に製造を開始することができる。
(詳細は、www.veeco.com)
同社によると、MaxBrightはすでに大手LEDメーカーが採用を決めており、さらに韓国、台湾、中国のメーカー向けにも出荷することになる。
MaxBrightは、2もしくは4台のリアクタクラスタアーキテクチャに複数の新しい高スループットMOCVDリアクタを統合し、VeecoのUniform FlowFlange技術と自動化技術とを利用している。同システムは、実績のあるK465iをベースにしており、ウエハ容量拡張と、独自のクローズドループ熱制御技術の両方によって特徴付けられる。このリアクタは、標準のK465iに比べてスループットは25％向上しており、パフォーマンスの優位点(均一性、再現性、材料品質)も強化されている。MaxBrightシステムは、Veecoによると、業界トップクラスのウエハ容量、216×2”、56×4”、24×6”、12×8”ウエハに対応している。さらに、K465iからMaxBrightへのシームレスなレシピ移行によって、ユーザは迅速に製造を開始することができる。
(詳細は、www.veeco.com)
