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EVG-新しいウェーハレベルマイクロレンズモールディング技術

December 3, 2010, 千葉--EV Group( EVG)は、スマートフォンや Pico Projector 、その他様々なアプリケーションに対応する高解像度ウェーハレベルオプティクス(最大8 メガピクセル)の量産を可能にする新しいマイクロレンズモールディング技術を開発した。 
 この新しいモノリシックレンズモールディング(MLM)技術は、 EVG のプロセスチームにより開発され、同社の IQ アライナー UV ナノインプリントリソグラフィ装置、その他現存する装置でオプションとして提供している。すでにMLM オプションが搭載されている IQ アライナーの受注も決定している。 
 携帯電話のサイズ上、携帯電話用カメラの大きさには限界があり、より小さく解像度の高い、低コストのカメラモジュールの需要は高まっている。この要求を満たすため、CMOS イメージセンサやマイクロオプティクスのウェーハレベル製造への移行が加速化している。同時に、より高解像度による高いパフォーマンスを実現するためには、より複雑な光学システム製造が必要になり、製造条件も必然的に厳しいものになる。
 ウェーハレベルでのカメラの製造では、通常ガラス製スペーサ基板上に光学ポリマ材料でレンズを構築する方法が使用される。異種材料を組み合わせることで、解像度や写真の質に限界が生じ、カメラ自体の品質にも影響する。これらの問題を解決するため、EVG の MLM 技術はガラス基板を使用せず、2枚のスタンプの間にポリマをモールドし、 EVG の IQ Alignerで UV照射して硬化させる。これにより、オプティクスとレンズを重ね合わせるデザインではなく、薄型レンズウェーハやレンズスタックの製造が可能になった。また、IQ Aligner はマイクロレンズを室温でモールドするため、様々な材料のオプティカルレンズを高精度で露光でき、デバイスのパフォーマンスを飛躍的に向上することがでる。

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