Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

September 27, 2010, 北杜--オキサイドと、マグネスケールは、マグネスケールが保有するDUV レーザ事業および半導体検査装置事業をオキサイドに譲渡することで合意した。この事業譲渡を受けて、オキサイドは2010年10 月1 日より日本国内及び世界に向けてDUV レーザの製造・販売ならびにそのメンテナンスサービスを展開する。
　オキサイドは、独立行政法人 物質・材料研究機構の研究成果を実用化するためのベンチャー企業として2000年に設立されて以来、これまでに定比組成タンタル酸リチウム単結晶、定比組成ニオブ酸リチウム単結晶と呼ばれる新しい光機能単結晶の製品化に成功してきた。近年では、事業の付加価値を高めるために、単なる素材としての供給だけでなく、単結晶基板を用いたデバイスやモジュールを開発製造する川下部品事業への展開を進めてきた。中でも各種レーザのキーマテリアルである波長変換用結晶、素子、モジュールについては特色ある製品を製造・販売しているが、さらなる技術基盤強化とバリューチェーン強化の一環としてDUVレーザ光源事業に参入する。
　DUV (deep ultra violet)レーザは、波長300nm 以下の深紫外域の光を発振させるレーザで、その応用範囲の広さから世界中の研究機関、企業が開発に鎬を削っている技術。特に次世代半導体検査装置開発のキー技術であり、Blu-rayディスク製造や各種ナノプロセスへも応用されている。現在までに、266nm,257nm, 244nm, 213nm, 199nm, 193nm等の波長の製品（連続発振および準連続発振）が市場に出ている。今後は、幅広い応用で、特に使いやすい連続発振方式でのレーザ光源の高出力化と長寿命化が期待されている。
　今回譲渡を受けるDUV レーザ技術は、すぐれた高品質波長変換素子β-BBO（β-BaB2O4:ベータ型ホウ酸バリウム）単結晶と高性能なボイスコイルモータを特徴とし、これにより製造されたDUVレーザ機器は、すでに世界において高い評価と市場シェアを確立している。オキサイドは、これら技術に同社がほぼ独占的な世界シェアを有するCLBO(CsLiB6O10)単結晶(BBO と並ぶDUV レーザ用キーマテリアル)技術と高度なQPM（Quasi Phase matching: 擬似位相整合）デバイス化技術を融合させることによって、「世界のDUVレーザ光源市場において圧倒的な競争力を獲得できる」と見ている。