Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

April 6, 2010, 東京--アドバンテストは、テラヘルツ波を用いた3Dイメージング解析システム「TAS7000」の製品化に成功し、販売を開始した。
　「TAS7000」は、測定対象物を破壊することなく、その内部にある物質を3次元画像化し、成分分布や構造的な欠陥などを簡単に解析できるシステム。同製品は名古屋大学川瀬晃道教授とアドバンテストが共同開発したテラヘルツ波によるイメージング技術を活用し実現。この技術を利用することで、工業分野のみならず、今後ますます複雑になる医薬品などの分析、さらには食品・バイオ物質などに対して新たな手法での解析・検査が可能となる。
　アドバンテストは､「TAS7000」の最初の産業分野への応用として、これまでの解析手段では不可能であった、セラミック・フィルタの内部に付着した粒子状物質の堆積分布状態を、非破壊で3次元画像化し、定量解析を可能とする手法を提案している。

「TAS7000」の特長
世界初のテラヘルツ波を利用した2D/3D非破壊解析:「TAS7000」は、テラヘルツ波を使うCT (Computed Tomography) 方式により、測定対象物の内部状態を非破壊のまま2次元・3次元画像として可視化する。内部物質の構造変化はもちろんのこと、その成分の特定や物質量まで簡単に解析することができる。また、テラヘルツ波の特徴のひとつとして、さまざまな物質を適度に透過することがあげられる。この特徴を用いることで、今まで他の電磁波では不可能であった物質の解析が可能となる。
　新規開発のテラヘルツ光サンプリング方式による高速測定: テラヘルツ波の発生と検出を、超短フェムト秒パルス光ファイバレーザにより高精度にサンプリング同期させる、テラヘルツ光サンプリング方式を新規開発。これにより、膨大な測定が必要な試料の3次元解析においても、極めて短時間に解析を行うことができる。
　広帯域なテラヘルツ電磁波分光分析: 最大測定周波数3THzの広帯域、高分解能の分光分析が可能であり、化学材料、工業材料、バイオ物質などさまざまな試料の指紋スペクトル解析が簡単にできる。また、より高精度な分光測定ニーズに向け、測定試料部に乾燥空気を充填して水蒸気の影響を除去するオプションも用意。
　量産ラインにも対応可能な柔軟なシステム仕様: 装置内のテラヘルツ波発生モジュールと検出モジュールは、多チャンネル化が可能な仕様としている。複数の被検査対象物の同時測定や、量産ラインでの検査に応用でき、ユーザの多様な測定ニーズに応える柔軟なシステム構築が可能。