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Veeco VCM光学プロファイリングシステムを発表
July 3, 2009, 東京--日本ビーコは、Veeco Confocal Metrology(VCM)オプティカルプロファイラシステムを発表した。
Veeco によると､この新しいVCM プロファイラは、高い傾斜、大きな表面粗さ、または透過膜下のデータ収集を可能にするアプリケーションに対して、コンパクトで操作性の良い非接触計測ソリューションを提供する。VCM プロファイラシステムは、スピニングディスク技術と白色光を励起光源とすることで、他の共焦点顕微鏡よりもより速く、正確で、再現性の高い計測が可能になった。
Veeco のVCM シリーズ共焦点顕微鏡は、150 または200、300mm の駆動ステージに対応しており、手動もしくは自動操作のものがある。VCM システムソフトウェアは、メトロロジー計測と3 次元イメージング機能に完全に合致し、また先端研究・開発や企業ニーズに対応し、経済的な手動機能から高スループット・完全自動試料位置決め・自動データ取得にも対応。オプションのスティッチングインターフェースで複数のデータを簡便にかつ自動でまとめる（スティッチする）ことができ、幅広い視野が求められる形状についても高分解能イメージングが可能。
