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CRAIC､薄膜の膜厚をサブミクロンで計測
May 14, 2009, San Dimas--クレイクテクノロジーズ(CRAIC Technologies)は､QDI 2010Film顕微分光システムを発表した｡
QDI 2010Filmは､薄膜のサブミクロンのサンプルの厚さを迅速に計測し､試料に影響を与えない｡薄膜材料としては透明､不透明の多くの材料に対応しており､ユーザは半導体からMEMSデバイス､ディスクドライブ､フラットパネルディスプレイまで､あらゆる薄膜の厚さを計測することができる｡QDI 2010Filmは､CRAIC独自のコンタミネーション･イメージング機能と組み合わせ､製造プロセスで使えるように設計されている｡
CRAIC社長､Dr. Paul Martinによると､同社の顧客が要求する試料の膜厚はますます薄くなってきており､製品の品質を素早くコントロールのために計測が必要になっている｡QDI 2010は､透明､不透明材料をサブミクロンレベルで計測したいとする顧客の要求に応えて製品化した｡
QDI 2010は､最先端の顕微分光システムとソフトウエアを組み合わせたソリューションで､これによりユーザは様々なタイプの材料､基板を透過と反射のいずれかで膜厚測定できる｡柔軟な設計になっているので､測定できる試料の範囲は100μm以上､1μm以下の厚さで計測できる｡生産現場用に設計されているので､様々なカスタマイズレシピーを組み込んでおり､データ解析のための新しいツールとして使用することができる｡UV顕微鏡で薄膜を直接画像化して解析する機能も同装置に追加することができる｡
