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InterOpto/BioOpto　出展製品特集　詳細

固体レーザ

掲載日：2013/10/13

NSL-193L は、赤外増幅部と波長変換部を有するニコン独自の方式により、ArF エキシマレーザと同一波長193nm で動作する固体レーザ。
効率的な波長変換方式を採用しているため、安定した出力と高い繰返し周波数を得ている。標準仕様では100mW、繰返し周波数400Khz を可能にしており、組込み用光源にも対応可能。