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空冷ピコ秒レーザ
掲載日：2011/7/6
日本レーザーは、カナダのアトダイン社製の空冷ピコ秒レーザー「APLシリーズ」の販売を開始した。アトダイン社はファイバーレーザー技術と半導体励起固体増幅器の利点を融合した独自構造を内蔵したピコ秒レーザーを製造する企業。APLシリーズは、10ps未満の短パルスを発振する、ターンキー型の製品である。メンテナンスに手がかからず、小型で空冷のため取り扱いが容易なことが特徴。500kHzまでの高繰り返しを実現する「APL-4000」および「APL-500」と、最大エネルギー1mJを発振する「APLQ」があり、それぞれのモデルに1064、532、355nmの3波長の製品がラインナップされている。 微細加工用途に適しており、TFT（薄膜トランジスタ）リペア、スクライビング、マーキング、ダイシング、揮発性素材加工、硬質素材加工などの分野で使用されている。パルス幅はAPL-4000およびAPL-500が4から8ps、APLQが10ps未満。繰り返し周波数はそれぞれ0から500kHz、0から1kHz。強制空冷方式で外部トリガー制御が可能。偏光は直線で1000：1以上。
（株）日本レーザー
レーザー機器部
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