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Oxford Lasers社製コンパクト レーザー微細加工装置
掲載日：2011/6/1
日本レーザーは、英オックスフォードレーザー社のコンパクト レーザ微細加工装置「ALPHAシリーズ」の販売を2011年6月から正式に開始する。価格は2600万円前後で、初年度は日本国内で５台の受注を見込んでいる。
ALPHAシリーズは、ユーザ用途に合わせた各種のDPSSレーザーが搭載可能で、金属薄膜・セラミック系材料・高分子材料など、さまざまな材料のミリング・エッチング・スクライブ・穴あけなどを行う微細加工装置。本装置には、位置決め操作や加工条件設定を容易に行うためのオプションとして、オートフォーカス機能、同軸観察光学系および専用ソフトウエアなどが用意されている。
専用ソフトウエアCimitaを利用すると、観察系・位置決めステージ・レーザー制御を一括管理でき、CADファイルによる加工プログラム作成にも対応できる。また、先端技術であるピコ秒／フェムト秒の超短パルスレーザーを使用した、非熱加工アプリケーションのシステム構築も検討可能。
マイクロホールドリリング、金属膜アブレーション、微細切断・溝加工、燃料電池材料の加工などに最適。
使用レーザー：1064nm、532nm、355nm、DPSSレーザ、パルス幅：5～10ns、XYステージ：150×150mm（標準）／200×200mm（オプション）、Zステージ：手動50mm（標準）、電動化可能（オプション）、オプション：オートフォカス、自動アライメント、トレパニング機能、ガルバノスキャンシステム搭載。
(株)日本レーザー
名古屋支店
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