Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

August 6, 2013, San Jose--ウルトラテック(Ultratech, Inc)は、Ultratech/Cambridge NanoTechをマサチューセッツ州Walthamに移すと発表した。この最新鋭の工場は次世代原子層蒸着法(ALD)装置開発活動を拡張し、最先端の科学研究を促進するものとなる。
昨年12月、Cambridge NanoTechの資産買収後、ウルトラテックはALD開発強化のために新工場に投資してきた。この新しい工場でUltratech/Cambridge NanoTechはALDアプリケーション向けの新しいプロセス技術の開発力を大幅に強化した。
正確にナノメートル薄膜を蒸着するには、ALDは他の既存技術に対して大きな優位性がある。この技術は集積オプティクス、MEMS、バイオメディカル分野の埋め込み可能なデバイス、エネルギー市場における燃料電池の量産環境で大きな需要が期待できる。
ウルトラテックは、半導体デバイスやHB-LEDの製造に用いられるリソグラフィ、レーザ処理、検査システムの大手サプライヤ。