Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

February 14, 2013, Cairo--Si-Ware Systems(SWS)は、MEMS FT-IR分光計技術を日本の浜松ホトニクスにライセンスすると発表した。SWSは、産業およびコンシューマアプリケーション向けにICベース、MEMSベースのソリューションを提供している。
浜松ホトニクスは、世界有数のオプトエレクトロニクスコンポーネントのサプライヤで、同社は先頃新しいFT-IR分光計を発表した。
SWSが開発し、浜松ホトニクスにライセンスしたFT-IR分光計は世界初のシングルチップ分光計。分光計の光コンポーネントの全てが、SWS独自のMEMS技術を用いてワンチップにモノリシック集積されている。
FT-IR分光計は、MEMSチップで構成されており、チップは1×1㎝2で、光コンポーネントの全てを含む。エレクトロニクスのインタフェースASICは分離されており、SWSのASICソリューション部門が設計、製造した。同システムのこの他のコンポーネントは、フォトディテクタ、光ファイバ、ソフトウエア。最初のシステムはモジュール化されており、パワー供給はUSBインタフェースからとなり、150mA以下で動作する。モジュールサイズは8×6×3㎝3、重量100g以下。これらにより、世界最小、最小消費電力の分光計が実現されている。
FT-IR分光計は、SWSのシリコン集積マイクロ光システム技術(SiMOST)ベースで開発、リリースされた最初の製品。SiMOSTは、検査済みのMEMSコンポーネントを使用してモノリシック光システムを実現する完全なプラットフォームであると、SWSは説明している。複数の光MEMS構造は、DRIE(deep reactive Ion Etching)を利用してSOIウエハにパタン形成しエッチングされる。次にその構造をウエハレベルパッケージして、ダイシングし、ワンチップの光システムを作製する。
SiMOSTによってアライメント不要のオプティクスが実現する。ディスクリートの光システムは、正確なアライメントが必要となるので、アセンブリとパッケージングがコスト高になる。SiMOST光コンポーネントはリソグラフィ的にオンチップでアライメントしており、時間もかからず、高コストのアライメントも不要となっている。