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NICT、超小型テラヘルツ波プローブ開発

September 25, 2012, 東京--情報通信研究機構(NICT)は、スタック電子と共同で、テラヘルツ波技術分野において、超小型テラヘルツ波プローブの開発に世界で初めて成功した。
この小型プローブの開発により、従来に比べて、テラヘルツ波検出システムの大幅な小型化を実現した。 このプローブの実用化により、これまで測定環境が整備された実験室で行われていた測定から、作業現場へ持ち運んでの測定や今まで測定ができなかった場所で測定が可能になる。さらに、小型化されたことで、測定したい場所の直近までプローブを近付けることができ、余計な光学系を介さずに測定ができるため、空間分解能の向上も期待される。
NICTは、電気光学サンプリング法に基づいた超小型のテラヘルツ波検出システムの開発に成功した。従来、テラヘルツ波検出は、“空間光学系”を用いて構成されていたため、非常に大型なシステムだった。今回開発したテラヘルツ波検出システムは、“光ファイバ”をベースにし、光通信で用いられる小型モジュール組立技術を採用することにより、小型化を実現。同時に、空間光学系で用いるミラーの振動などをなくすことで高安定化を可能にした。特に、テラヘルツ波を感知するプローブは、直径10mm、長さ60mmの超小型のペン型形状を採用し、市販品と比較して1/100程度の体積を実現した。また、今回製作したテラヘルツ波プローブでは、従来の市販品以上の3THzまでのテラヘルツ波を検出することができた。
今後、さらにセンサの高感度化・広帯域化を行うとともに、NICTが開発した超短パルス光源を用いたテラヘルツ波源と組み合せることにより、テラヘルツ分光システムの構築を目指す。また、今回開発したテラヘルツ波プローブは超小型であるため、ロボットアームに搭載したり、一列に多数並べてリニアアレイセンサを構成する等により、遠隔での測定や広範囲の測定、製造ラインでの検査への応用が期待される。

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