Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

July 9, 2012, 小山--ギガフォトンは、EUV露光用LPP光源(LPP光源)において、変換効率(CE; Conversion Efficiency)最高5.2％でのEUV発光を実証した。今回実証されたCEは、ターゲットとしてドロップレットを用いた LPP光源でこれまでに報告された中で業界最高の数値。これにより、高出力、低ランニングコストで安定に稼働する、画期的なLPP光源が実現可能となる。ギガフォトンでは、今回の実証結果を折り込み、より効率の高いLPP 光源の開発・生産に結びつける。
今回のCEの達成は、メインパルス炭酸ガス(CO2)レーザをターゲットであるすず(Sn)ドロップレットに照射する前に、プリパルスとして短波長の個体レーザを照射し最適なプラズマ生成条件を作り出す、ギガフォトン独自の設計コンセプトにより実現したもの。メインパルスレーザエネルギーのドロップレットへの吸収効率を高めるため、プリパルスレーザのパラメータを最適化し、150mJのCO2レーザ照射にて、発光点で最大7.8mJ、平均7.1mJを達成。これは、CEとして最大5.2%、平均4.7％に相当する。また、LPP光源としては、量産機折り込み時に換算し175Wに相当した出力となる。
ギガフォトンは2002年から、高出力と安定性・経済性を追求した独自技術によるLPP光源の開発に取り組んでおり、20μm以下の微小ドロップレットのオンデマンド供給、短波長の固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去などユニークな方式を提案してきた。ギガフォトンでは今回のCE達成を、ギガフォトンの高い技術力を証明すると共に、製品出荷へ向けての大きな一歩と位置づけている。
ギガフォトンの提案する高CE技術は、短波長の固体レーザによるプリパルスとCO2レーザによるメインパルスの最適な組み合わせにより、高いCEを実現すると同時に、Snフラグメント(微小粒)、中性Sn原子の発生を抑制し、ドロップレット中のSnを高効率にイオン化可能とする。イオン化されたSnは、Snキャッチャーへ電磁力でガイドすることで除去し、コレクタミラーへの付着と損傷を最小限に抑える。