Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

May 10, 2012, Jiangsu/Nashua--トリニティマテリアル(Trinity Material)とARCエナジー(ARC Energy)は、ARCエナジーのControlled Heat Extraction System(CHES)炉を大手LEDチップメーカーが高品質LEDチップ製造向けに品質認定したと発表した。中国のトリニティマテリアルは、ARCエナジーと提携してCHES炉をサファイア製造に利用する。
サファイアブール(単結晶インゴット)は、a軸ブールを成長してc軸ウェハを取り出す従来プロセスに対して、ARCエナジーのCHES法ではc軸で成長させる。「LEDチップ品質評価結果から、CHESウェハは、a軸成長工程のサファイアと同等か、それよりも優れていることが示された。ブールでもウェハレベルでも色問題はなかった。CHESウェハで製造したLEDチップは、従来のa軸成長ブールからのウェハを使用したデバイスと比べて、光出力が大幅に向上することが示された」とトリニティマテリアルのCOO、Champion Yi氏はコメントしている。
両社は、LED製造をc軸成長に向けることで業界で新たな商機を探るとしている。トリニティマテリアルは、LED市場での大口径サファイアウェハに対する需要拡大に応えてサファイア結晶の製造量を増やすことに成功している。
トリニティマテリアルのCEO、Jamin Sheng氏は、「当社は、中国でLED市場向けCHESサファイア量産の先駆者となる」と語っている。
ARCエナジー独自の完全自動化CHES技術によるc軸ブール製造はLEDアプリケーションにとって最適な方向性であり、従来技術と比べて材料の利用率が高まり、大口径サファイア製造で全体的なコスト削減となる、とトリニティマテリアルは説明している。ARCエナジーの共同創始者/CTO、Dr. Rick Shwerdtfegerによると、両社は4インチ～8インチの大口径サファイア基板を製造して、急拡大する需要に応えていく。
(詳細は、www.trinity-material.com)