Laser Focus World JAPAN　レーザーフォーカスワールドジャパン

December 8, 2011, 小山--ギガフォトン（Gigaphoton）は、露光用エキシマレーザ製品シリーズの出荷台数が、累計1,000台に達したと発表した。
ギガフォトンの前身、コマツが日本初のエキシマレーザ装置KLE-630を発売したのが1985年。その後、1987年には世界初の露光用エキシマレーザKLE-630Sを発売した。以来、市場の高い期待に応え、高精細・高スループット・低ランニングコストを追求した露光用エキシマレーザを次々と発売している。
マルチパターニング用液浸露光装置に向けた次世代 のArFエキシマレーザGT63 Aシリーズでは、低ランニングコストを実現するチャンバ技術(sGRYCOS)、高稼働率を実現するガス制御技術(sTGM)、広い焦点深度を実現するスペクトル制御技術(sMPL)、高安定性を実現するモニタリング技術(sMONITORING)の、4つの”s ”シリーズファンクションを投入し、高い技術でお客様への更なる価値を創造し、信頼に応えている。また、これら”s”シリーズファンクションは、GT63Aシリーズとプラットフォームを共通とする、GT60Aシリーズ*2)、GT61Aシリーズ、GT62Aシリーズにもアップグレードキットが適用可能であり、顧客の要望に応じたカスタマイズを可能としている。
sGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System)技術は、エキシマレーザの主要な交換部品であるチャンバの寿命を従来の1.5倍に高め、低ランニングコストを実現。sTGM(Supreme Total Gas Manager)技術は、波長較正方式に工夫をこらし、従来2週間に一度必要であったレーザガスの交換を不要とすることで、高稼働率を実現。sMPL(Spectrum Multi Positioning LNM)技術は、スペクトル制御幅を従来の10倍以上に高め、フォーカスドリリングによる広い焦点深度確保を実現する。sMONITORING(Smart Monitoring)技術は、オンラインでリアルタイムにレーザのパフォーマンスをモニタする機能で、顧客のFDC(Fault Detection and Classification)システムにも接続可能であり、装置の安定稼働に貢献すると同社では説明している。